E1200卧式热反应系统

一、产品简介
E1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点
可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程，以优良的品质、较小的体积、低成本的特点，特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。
	

二、工艺特性
?常压工艺
?LPCVD工艺
?PECVD工艺
三、产品特性
●较多可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉；
●清洁的自动载舟系统；
●反应炉独立控制提供了优质的小批量或复杂工艺能力；
●先进的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气；
设备参数：
反应炉使用晶片尺寸：150mm（较多50片）或200mm（较多25片）
加热系统：3组300mm恒温区，温差0.5℃；
温控范围：200℃～1300℃；
可处理工艺气体种类：H2、Ar、N2O、N2、SiH4、NH3、B2H6、PH3、SiH2Cl2；
系统总功率：55kW
电源供给：400V.80A；
压缩空气：600～1000kPa；
冷却水流量：50～70LPM
排气能力：400m3/H