E1550-初步小规模生产的卧式炉
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centrotherm E1550 较优化系统,支持多种工艺能力,适用于中等生产能力和高工艺性能用户,是一款安全、可靠、易于维护的卧式扩散炉平台。该炉可高达4层石英管或SiC工艺管, 其硅片尺寸可达300毫米的。凭借其低维护和运行成本、及占地面积小等优势, E1550 可以生产出较具成本效益的产品。
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特点:
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计,便于在洁净室安装调试
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主要经营封装设备,半导体制造设备,LTCC设备,METCAL焊接,粘片机,键合机,封焊机,PALOMAR,BRUKER。
单位注册资金单位注册资金人民币 500 - 1000 万元。
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